HAMAMATSU滨松晶圆玻璃薄膜厚度测量仪C13027-12

应用：高速测量晶圆、玻璃和薄膜的厚度。（测量范围：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）

Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C13027 是一种利用光谱干涉法的非接触式膜厚测量系统。C13027 不仅支持 PLC 连接，而且比其他型号更紧凑，易于安装到设备中。我们的 Optical Gauge 系列能够测量低至 10 nm 的极薄薄膜的厚度，并覆盖从 10 nm 到 100 μm 的宽范围薄膜厚度。Optical Gauge 系列还可快速测量高达 200 Hz 的功率，因此是高速生产线测量的理想选择。

特点

支持 PLC 连接
缩短周期时间（*高 200 Hz）
能够测量 10 nm 薄膜
同时测量厚度和颜色
缩小尺寸（与 C12562 相比，其安装面积减少 30%）
涵盖宽波长范围（400 nm 至 1100 nm）
软件中添加了简化的测量
能够同时进行表面分析
**测量起伏不定的薄膜
分析光学常数（n、k）
映射功能

详细参数

型号	C13027-12
可测量的薄膜厚度范围（玻璃）	10 nm 至 100 μm*1
测量重现性（玻璃）	0.02 nm2 3
测量精度（玻璃）	±0.4%3 4
光源	卤素光源
测量波长	400 nm 至 1100 nm
光斑尺寸	约 Φ1 mm*3
工作距离	10 mm*3
可测量层数	*多 10 层
分析	FFT 分析、拟合分析、光学常数分析、颜色分析
测量时间	3 ms/point*5
光纤连接器形状	FC
外部控制功能	RS-232C，以太网
电源	AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗	约 80 VA

●输出信号
模拟输出：0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道（*多 3 层）
警报输出：TTL/高阻抗单通道
警告输出：TTL/高阻抗单通道
●输入信号
测量开始信号：TTL/高阻抗单通道

*1 当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
*2 测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差（公差）。
*3 取决于使用的光学系统或物镜放大率。
*4 VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。
*5 *短曝光时间。

尺寸

c13027 外形尺寸图

两分叉光导外形尺寸图

a10192-10 外形尺寸图

产品名称：晶圆玻璃薄膜厚度测量仪

HAMAMATSU滨松晶圆玻璃薄膜厚度测量仪C13027-12

特点

详细参数

尺寸