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产品详情
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  • 产品名称：晶圆玻璃薄膜厚度测量仪

  • 产品型号：C10323-02E
  • 产品厂商：HAMAMATSU滨松
  • 产品文档：
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简单介绍：
HAMAMATSU滨松晶圆玻璃薄膜厚度测量仪C10323-02E
详情介绍：

HAMAMATSU滨松晶圆玻璃薄膜厚度测量仪C10323-02E

应用：高速测量晶圆、玻璃和薄膜的厚度。（测量范围：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）

Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C10323 是一种显微膜厚测量系统。如果物体具有会产生高水平散射光的不规则表面，则无法在宏观层面上进行测量。对于这些类型的对象，测量小面积会减少散射光，从而可以进行测量。

C10323-02E 的电源电压为 AC200 V 至 AC240 V。


特点

  • 微视野厚度测量
  • 高速度和高精度
  • 分析光学常数（n、k）
  • 提供外部控制

详细参数

型号 C10323-02E
可测量的薄膜厚度范围（玻璃） 20 nm 至 50 μm①
测量重现性（玻璃） 0.02 nm②
测量精度（玻璃） ±0.4%③
光源 卤素光源
测量波长 400 nm 至 1100 nm
光斑尺寸 φ8 μm 至 φ80 μm④
工作距离 请参阅物镜列表
可测量层数 *多 10 层
分析 FFT 分析、拟合分析、光学常数分析
外部控制功能 RS-232C、PIPE、以太网
接口 USB 2.0
电源 AC200 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗 约 250 VA
①当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
② 测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差（容差）。
③ 取决于使用的光学系统或物镜放大率。
④ VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。

尺寸

c10323 外形尺寸图

 

 

 

a10406-02 外形尺寸图

a10407-01 外形尺寸图

 

 

 

a10407-02 外形尺寸图

l6758-11 外形尺寸图

 


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